研磨剤 (開発品)
硬脆材料研磨用複合砥粒
高硬度粒子、メカノケミカル粒子、反応助剤粒子の3種類の粒子で構成された砥粒です。数種の粒子を複合化することで湿式条件下でも効能率な湿式メカノケミカルポリシングを可能にします。被加工物に対してその組み合わせを最適化することで性能向上が期待できます。
関連情報
- 特許6054341 研磨用砥粒とその製造方法と研磨方法と研磨部材とスラリー
- 2019年度砥粒加工学会賞論文賞を受賞 『 高能率鏡面研磨用砥粒（MeCCA）の開発 ～サファイアに対する湿式研磨性能およびウエーハ品質評価～ 』
特徴
- 湿式でメカノケミカル反応を基調とした研磨が可能
- 高加工率、高平坦性、高平滑性を実現
- 砥粒の組成や粒度、形状を制御することで目的の研磨を達成
加工例
・金属
Ti (モース硬度: 6) MnO2系複合砥粒 スウェード系パッド
Au (モース硬度: 3) MnO2系複合砥粒 スウェード系パッド
SiCセラミックス、スピネル、超硬金属等の加工実績もございます。その他の材料についても検討可能です。詳細についてはお問い合わせフォームより承っております。